1樓：park帕克原子力顯微鏡
xrd、sem和afm測試沒有固定的先後順序。xrd通常薄膜厚度不夠的話，需要剝離研磨製成粉末樣品。sem和afm根據樣品的特性選擇乙個測試就可以。
測試時通常是選擇同批次，同條件的幾個樣品分別去測形貌和組分。按照預約測試時間來安排測試順序。選購原子力顯微鏡推薦park nx-hivac。
nx-hivac的優點如下：
1、nx-hivac 真空自動控制。
hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制最佳真空條件抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監控，一鍵單擊後您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟體使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
2、高階自動化特點。
nx-hivac具有大量功能從而能夠最大化減少使用者輸入。換言之，您可以更快速地掃瞄，提高實驗室產量。
3、配備電控載物臺的stepscan 自動化掃瞄。
stepscan允許使用者能夠對器件進行程式設計從實現而快速便捷地多區域成像。nx-hivac讓您只需五步即可完成樣本掃瞄：掃瞄、提公升懸臂、移動電動平臺至使用者定義座標區域、進針及重複掃瞄。
如此可極大地提高生產率，最大化減少使用者輸入。
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2樓：匿名使用者
首先一般情況下xrd，和afm不會損傷樣品表面，除非有些專門做afm檢測的老師，為了一次多做些樣品，可能要把你的樣品剪成小塊，可以提前問下。另外sem也會有這種被剪成小塊，很多情況下還要被噴金，尤其是如果是檢測中心的話，可能會跟其他人的樣品一起測，這時就會一起被噴金。噴金時如果是高分子材料，電流太高，噴金時間太長，可能會熔化變形。
做xrd還要注意就是薄膜樣品，要求表面平整，所以如果不平，也許會被壓平，要考慮會不會損傷表面形貌。
afm和sem背面要貼導電膠或一般雙面膠，揭下來後背面可能會有殘餘，如果薄膜太脆太薄也可能會被破壞。
以上是我自己總結的，希望能幫到你。
最後，我建議的是，如果上述都不妨礙的話，可以先做afm,再xrd, 最後sem.另外afm和xrd先後不很要緊。
3樓：匿名使用者
如果薄膜導電，不需要噴金等，可以先測afm，再測sem，最後測xrd否則先測afm，再測xrd，最後測semafm和xrd是無損檢測，但afm怕樣品弄髒，所以一般先測。
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