1樓：匿名使用者
這是一種直接生成多晶矽的方法。lpcvd是積體電路中所用多晶矽薄膜的製備中普遍採用的標準方法，具有生長速度快，成膜緻密、均勻，裝片容量大等特點。多晶矽薄膜可採用矽烷氣體通過lpcvd法直洞世接沉積在襯底上，典型的沉積引數是：
矽烷壓力為，沉積溫度td=580～630℃，生長速率5～10nm/min。由於沉積溫度較高，如普通玻璃的軟化溫度處於500～600℃，則不能採用廉價的普通玻璃而必須使用昂貴的石英作襯橘喊底。 lpcvd法生長的多晶矽薄膜，晶粒具有<110>擇優取向，形貌呈「v」字形，內含高密度的微攣晶缺陷，且晶粒尺寸小，載流子遷移率不夠大而使其在器件應用方面受到一定限制。
雖然減少矽烷壓力有助於增大晶粒尺寸，但往往伴隨著表面粗糙度的增加圓顫野，對載流子的遷移率與器件的電學穩定性產生不利影響。
2樓：匿名使用者
其含義是氣相中化學反應的固體產物沉積到表面銷裂宴。cvd裝置由下列部件組成；反應物**系統，氣相反應器，氣流傳送系統。反應物多為金屬氯化物，先被加熱到一定溫度，達到足夠高的蒸汽壓，用載氣（一般為ar或h2）送入反應器。
如果某種金屬不能形成高壓氯化物蒸汽，就代之以有機金屬化合物。在反應器內，被塗材料或用金屬絲懸掛，或放在平面上，或沉沒在粉末的流化床中，或本身就是流化床中的顆粒。化學反應器中發生，產物就會沉積到被塗物表面，廢氣（多為hcl或hf）被導向鹼性吸收或冷阱。
沉積反應可認為還原反應、熱解反應和取代反應幾類。cvd反應可分為冷壁虧銀反應與熱壁反應。在熱壁反應中，化學反應的發生與被塗物同處一室。
被塗物表面和反應室的內壁都塗上一層薄膜。在熱壁反應器中只加熱被塗物，反應源培物另行匯入。
化學氣相沉積為什麼在低壓或真空中進行
3樓：安全生產資料
也不是一定要在負壓或者真空下進行，常壓下進行也可以，只不過得到的產品質量稍差。據我的考慮可能是真空狀態下分子排布統一均勻，得到的產品效能稍好。
平板顯示器用化學氣相沉積裝置是什麼東西
4樓：
標題：圖4銥塗層的化學氣相沉積裝置示意圖 schematic diagram of cvd apparatus for iridium coat-ings
篇名：化學氣相沉積技術與材料製備。
說明：80年代中期以來美國國家航空與宇宙航天局(nasa)採用金屬有機化合物化學氣相沉積法(mocvd)成功製備出錸基銥塗層複合噴管[14~19],化學氣相矯jfd2001
非晶矽太陽能電池退火原理及作用什麼？
5樓：星光蝴蝶結
非晶矽太陽能電池在退火後功率有一定幅度地上公升，這種現象是非晶矽材料的sw效應造成的。它是a．si：h材料結構的一種光致亞穩變化效應，即光照使a．si：
h材料產生中性懸掛鍵等亞穩態缺陷。這些缺陷起復閤中心作用， 從而降低了材料和電池的效能。
退火效應導致矽膜內h的狀態的改變，引起的缺陷態的變化，非晶矽太陽能電池在退火後功率有一定幅度地上公升。
sw效應是指gd法制備的非晶矽材料電導率隨著光照時間的增加而發生衰退，在150度以上的溫度退火後又恢復原狀的現象。sw效應由非晶矽薄膜的亞穩定態決定的。
6樓：網友
化學氣相沉積主要是以sih2cl2、sihcl3、sicl4或sih4,為反應氣體，在一定的保護氣氛下反應生成矽原子並沉積在加熱的襯底上，襯底材料一般選用si、sio2、si3n4等。但研究發現，在非矽襯底上很難形成較大的晶粒，並且容易在晶粒間形成空隙。解決這一問題辦法是先用 lpcvd在 襯底上沉積一層較薄的非晶矽層，再將這層非晶矽層退火，得到較大的晶粒，然後再在這層籽晶上沉積厚的多晶矽薄膜，因此，再結晶技術無疑是很重要的乙個環 節，目前採用的技術主要有固相結晶法和中區熔再結晶法。
多晶矽薄膜電池除採用了再結晶工藝外，另外採用了幾乎所有制備單晶矽太陽能電池的技術，這樣製得的 太陽能電池轉換效率明顯提高。
計算器裡的太陽能電池板的電壓有2伏和4伏[12點中午測量的]
7樓：網友
我們有提供美國的lpcvd和pecvd，以及離子注入裝置。可以聯絡。
金屬有機化學氣相沉積系統（mocvd）與led的關係？
8樓：網友
movcd裝載的襯底的外延片是由led生產商提供的。
高壓122，低壓110正常嗎，高壓122，低壓110正常嗎
不正常，正常血壓是高壓在90 140，低壓在60 90.您的低壓有點高，平時應該低鹽飲食，多參加體育鍛煉，也應該吃藥控制。1 是不是量錯了！2 壓差12會造成全身供血不足。3 這種血壓很少見，一年也難見一兩例。4 用藥要慎重。查清 對症用藥。你的血壓壓差太小 應該去正規醫院看看 在決定用藥 這種血壓...
低壓側電流怎麼算，低壓電流計算公式
變壓器容量 ，取整數倍，然後 高壓側電流值，如果要是 ，就是低壓側電流值！比如說kva的變壓器，取整數倍後是，那麼高壓側電流就是 低壓側電流就是 a 線性係數法記住乙個常用容量的變壓器高低壓側電流值，其它容量的可以進行線性推導比如說kva的變壓器，高壓側電流計算值是，低壓側電流計算值是，那麼記住這個...
怎麼受赤道低壓帶怎麼受赤道低壓帶控制
赤道低氣壓帶copy的控制範圍大約是南北緯10度之間，赤道低氣壓帶冬季南移後，赤道附近還是主要受赤道低氣壓帶控制，因此還是高溫多雨的熱帶雨林氣候。氣壓帶風帶季節移動指太陽輻射的緯度差異和地球自轉的影響，全球形成了有規律分佈的大氣環流，各緯度地帶分佈著不同的環流形勢，即在不同的氣壓帶和風帶控制之下。季...