1樓:江西國材科技****
多弧離子鍍膜是一種通過電弧放電和離子轟擊的原理,在基材表面沉積出金屬膜的技術。其基本工作原理如下:
1. 準備工作:將靶材(通常為金屬)放置在真空室內,然後抽取空氣,製造出高真空環境。
2. 電弧放電:使用高能量直流脈衝等方式加熱靶材,引起金屬表面產生高溫等離子體,並將金屬原子和離子釋放到真空室中。
3. 離子轟擊:通過調節離子加速器和磁控系統,使釋放的金屬離子在真空室中形成離子束,並以較高的能量轟擊基底表面。
在離子轟擊的作用下,基底表面的原子得到激發,與金屬離子之間發生反應,從而沉積出厚度微公尺到數百微公尺不等的純金屬膜層。注意:在多弧塵戚離子鍍膜的過程中,也可以新增其他氣體或化合物來製備複合膜層,使金屬膜層具有多種特殊性質。
4. 結束工作:完成離子轟擊後,停止加熱桐慎靶材,將沉積在基底表面的薄膜脫離真空室。
多弧離子鍍膜具有高純度、高緻密度、厚度均勻性好等特點,同時還可以製備出不同局兄敬顏色、不同組成的複合膜層,因此被廣泛應用於光學、電子、機械等領域。
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多弧陰極根據靶材的不同,能夠穩定工作的電流是不一樣的,例如:如果是cr靶,可以在60a左右就可以穩定工作,ti靶在70a左右可以穩定工作,zr的穩弧電流稍高一些,大約在100a左右,陰極的工作電壓在20v-30v之間。 鍍膜時,比如你要做tic黑膜,就必須選用ti靶,ti的工作電流在70a,工作電壓在25v左右殲豎,需要向氏念大真空室內充入c2h2氣體,鍍膜時的真高悶空度要保持在左右,一般情況下,是用分子幫浦或者擴散幫浦來抽取這些氣體,使得真空室保持一定的壓力,此時的滑閥幫浦和羅茨幫浦充當分子幫浦或者擴散幫浦的前級幫浦,是一直要開著的。
多弧離子反應鍍膜裝置可以鍍出什麼色彩?
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多弧離子反應鍍膜裝置可以通過調節工藝引數和使用不同的靶材料來鍍制多種不同顏色的膜層。以下是一些常見的顏色和適用的靶材料:
1. 金色/黃色 膜層: 一般使用鈦(ti)靶材或碳化矽(sic)靶材。
2. 紅色圓虛旦 膜層: 通常使用氧化鋁譽培(al2o3)靶材或氮化鎢(wn)靶材。
3. 紫色 膜層: 通常使用氧化鎢(wo3)靶材或氮化鎢(wn)靶材。
4. 藍色/綠色 膜層: 通常使用二氧化鈦(tio2)靶材或氧化銅(cu2o)靶材。
5. 灰色/黑色 膜層: 通常使用碳(c)靶材或氮化硼(bn)靶材。
需要注意的是,實際操作過程中,工藝引數的設定和靶材的選擇可能與上述簡要介紹略有不同,因此在具體操作前需要根據實際情況進行進一步瞭解和優化。同時,不同廠家的裝置可能會有不橘擾同的適用顏色,因此在選擇裝置時需要注意確認其適用範圍與您的需求是否匹配。
總之,多弧離子反應鍍膜裝置可以製備出多種不同顏色的膜層,但具體操作所需的引數和靶材需要根據不同情況進行綜合考慮。
多弧離子鍍的原理
4樓:睢鳩運菱
離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。
首次提出離子鍍原理,起工作過程是:
先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發源與基片之間建立乙個低壓氣體放電的低溫等離子區。基片電極接上5kv直流負高壓,從而形成輝光放電陰極。輝光放電區產生的惰性氣體離子進入陰極暗區被電場加速並轟擊基片表面,對其進行清洗。
然後進入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子區,與惰性氣體離子及電子發生碰撞,少部分產生離化。離化後的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面,致使膜層質量得到改善。
然而多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍採用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成等離子體,對基體進行沉積。
多弧離子鍍膜的主要特點有哪些
5樓:桐華小智
真空條件下,採用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發並使被蒸發物質與氣體都發生電離,層積在被鍍產品上形成的金屬膜。
多弧離子鍍的優點
6樓:寁地實
(1)從陰極直接產生等離子體,不用熔池,陰極靶可根據工件形狀在任意方向佈置,使夾具大為簡化。
2)入射粒子能量高,膜的緻密度高,強度和耐久性好,附著強度好。
3)離化率高,一般可達60%~80%。
4)從應用的角度講,其突出優點是蒸鍍速率快。
多弧離子鍍的介紹
7樓:蘇荷
多弧離子鍍孫好中是採用電弧放電的方法,在固體的陰極靶材上直接蒸發金屬,蒸發物是襪洞從陰極弧光輝點放出的陰極物質的則山離子,從而在基材表面沉積成為薄膜的方法。
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答 氬弧焊按照電極的不同分為熔化極氬弧焊和非熔化極氬弧焊兩種。.非熔化極氬弧焊的工作原理及特點。非熔化極氬弧焊是電弧在非熔化極 通常是鎢極 和工件之間燃燒,在焊接電弧周圍流過一種不和金屬起化學反應的惰性氣體 常常用氬氣 形成乙個保護氣罩,使鎢極端頭,電弧和熔池及已處於高溫的金屬不與空氣接觸,能防止氧...
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割炬槍頭的電極與導電嘴相碰觸短路,排除方法 更換電極與導電嘴。等離子切割配合不同的工作氣體可以切割各種氧氣切割難以切割的金屬,尤其是對於有色金屬 不鏽鋼 鋁 銅 鈦 鎳 切割效果更佳,其主要優點在於切割厚度不大的金屬的時候,等離子切割速度快,尤其在切割普通碳素鋼薄板時,速度可達氧切割法的5 6倍 切...
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